Technologies génériques de microfabrication Tome 2

Name: Technologies génériques de microfabrication Tome 2
Price: 105 EUR
Author: Michel De Labachelerie
ISBN: 9782746227064

Michel De Labachelerie

Hermes Science Publications
Paru le : 12/05/2004

Le second volume présente les procédés de fabrication utilisés dans la réalisation de microsystèmes fondés sur des microstructures électromécaniques... > Lire la suite

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- Hermes Science Publications - 01/05/2004
  
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Le second volume présente les procédés de fabrication utilisés dans la réalisation de microsystèmes fondés sur des microstructures électromécaniques épaisses , inhabituelles dans le domaine de la microélectronique. La photolithographie utilisant des ré

Fiche technique

Résumé
Fiche technique

Date de parution : 12/05/2004
Editeur : Hermes Science Publications
Collection : Microsystèmes
ISBN : 2-7462-2706-1
EAN : 9782746227064
Format : PDF
Nb. de pages : 330 pages

Caractéristiques du format PDF
- Pages : 330
- Taille : 7 881 Ko
- Protection num. : Digital Watermarking
- Transferts max. : Autorisé
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